真空烧结炉其加热的方式比较多，如电阻加热、感应加热、微波加热等安装电炉的场所应符合真空卫生的要求，周围的空气应清洁和干燥，并有良好的通风条件，工作场地不易扬起灰尘等。具体安装步骤如下。 　　1.检查控制柜中所有部件及配件是否完备、完好。 　　2.控制柜安装在相应的地基上，并固定。 　　3.安照真空烧结炉接线图接线，并参考电气原理图，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保证接线无误。4.检查电器可动部分应活动自如，无卡死现象。 　　5.绝缘电阻应不低于2兆欧姆。 　　6.真空烧结炉各阀门必须在关闭位置。 　　7.控制电源开关放在关位。 　　8.手动调压旋钮逆时针旋动头。 　　9.报警钮放在开位。 　　10.按平面图完成设备的循环冷却水联接，建议用户在真空烧结炉设备总进出水管处再接入一备用水(可用自来水)，防止循环水有故障或断电导致密封圈烧坏。

　　气相沉积炉整体结构采用井式碳化炉结构。主要由炉体系统、控制系统、真空系统、冷却系统、进气系统、过滤系统、操作平台等部分组成组成。 　　气相沉积炉系统主要由炉盖、炉体、炉底、保温层、发热体、引电体组成，炉壳为圆柱形结构，分炉体和炉顶盖、炉底三部分，主要使用Q235钢材，炉体、炉盖、炉底均为夹层水冷结构，夹层内设置蛇形导流板，既可以引导水流流向又可以加强炉体壁抗压能力，炉体上设置电极座、测温座。抽气口位于炉顶盖或炉体侧壁上。 　　加热及保温层，发热体采用带式合金发热体，分三个加热区，三角形加热，分布在炉腔四周;保温层：采用全纤维炉衬复合保温结构，既可以让炉膛整洁成型又可以保持良好的保温性能，成型后的保温层分别固定在炉壁、炉盖上，操作与维护非常方便。 　　气相沉积炉的炉胆采用高温耐热钢，为保证高温真空下的工作强度，采用双真空结构。炉胆内外同时抽真空，并设置手动及自动压差阀。考虑真空放电现象，采用低电压大电流的供电方式。