真空甩带炉的抽真空是怎么样的
发布时间:2018-07-20 浏览:1255次
真空甩带炉的抽真空是怎么样的?下面,八佳电气科技的小编和大家说下相关的步骤。
一、抽低真空
1.将真空甩带炉机械泵拉杆逆时针旋转一下轻轻外拉至不能拉动再顺时针旋转一下锁定;
2.等待真空表指针为“-0.1”后按下复合真空计左表头的红色按钮,等待将腔内真空抽至低于中间档3Pa,同时继续紧固腔门上的螺丝(若超过5分钟未能将真空抽至低于3Pa,请将拉杆按a)步骤所示手法推进2分钟后再拉出)。
二、抽高真空
1.当真空甩带炉的腔内真空低于3Pa后,将机械泵拉杆推进并顺时针旋转锁定;
2.将扩散泵阀门开关手柄逆时针旋转180°至“开”;
3.当左表头指针低于0.2Pa后,按下右表头上的绿色按钮,并按复位按钮一次运行高真空表;
4.根据情况依次更换量程,查看真空甩带炉腔内真空度(在当前量程内,若指针高于“1”严禁更换到更小量程查看真空度)。
真空甩带炉的清理内腔工作:
1.顺时针旋转变频器上的变频旋钮至铜辊转速为5m/s;
2.用沾有丙酮的纸巾擦拭真空甩带炉的铜辊外径表面;
3.用金相砂纸轻轻擦拭外沿;
4.重复第2步;
5.逆时针旋转变频器上的变频旋钮至铜辊转速为“0”;
6.用沾有丙酮的纸巾擦拭真空甩带炉腔体其他地方。
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