由于真空甩带炉适用于各大科研院所、材料研究所内所有操作使用设备的人员。故在操作使用中要正确规范的操作，以保证该设备正常运转。今天八佳科技就和大家说下气体的。 　　先是要卸下装气体的空瓶。顺时针转动空钢瓶上的放气阀，使之关闭。接着逆时针旋动减压阀上的小阀至“shut”利用扳手逆时针拧动连接钢瓶与减压阀之间的螺丝直至将两者分开，将减压阀置于不易掉落之地，把空钢瓶小心挪出，置于闲处。取下真空甩带炉上的空瓶后接着就是装新瓶。将新钢瓶挪入原空瓶处，并装上减压阀，确保连接牢靠不漏气。将钢瓶的放气阀逆时针拧开，减压阀“shut”。下来待到装好就是开电源了。这时需将对面墙壁上左边的电源闸刀向上拨至“on”。 　　真空甩带炉的洗气过程是个比较复杂且重要的过程，就此我们要详细的做个讲解。 　　当按下机械泵电源按钮，等待2分钟后抽出真空甩带炉的机械泵拉杆。接着开充气阀，将充气阀(甩带炉腔体右悬臂下)逆时针旋转90度，使之平行于该装置。按下“充气Ⅰ”。待氩气罐气压表(前面板左下)指针指向“-0.01MPa”。在关充气阀时，需要顺时针旋转充气阀90度，使之与该装置垂直。 　　在给氩气罐充气时，要顺时针旋转减压阀上的小阀至“open”，观察真空甩带炉的氩气罐气压表为“0.08MPa”时，逆时针旋转小阀至“shut”。再开启充气阀，将充气阀(甩带炉腔体右悬臂下)逆时针旋转90度，使之平行于该装置。待氩气罐气压表指向“-0.01MPa”时，关充气阀。需要顺时针旋转充气阀90度，使之与该装置垂直。 　　当真空甩带炉换气结束，操作者要顺时针旋转减压阀上的小阀至“open”，观察氩气罐气压表为“0.08MPa”时，关闭“充气Ⅰ”，并将机械泵拉杆推进，关闭机械泵电源按钮。接着，关闭电源，将总电源闸刀拉下至“off”。 　　好了，以上就是为大家讲解该如何给真空甩带炉换气的步骤。如果大家还有不懂，欢迎随时来电咨询。

　　气相沉积炉的结构及工作原理　　气相沉积炉（Gas Phase Deposition Furnace）是一种用于材料薄膜生长的实验设备，常用于半导体、光电子、纳米科技等领域。下面是气相沉积炉的基本结构和工作原理的简要说明：　　气相沉积炉结构：　　气相沉积炉通常由以下几个主要组成部分构成：　　1.反应室（Reaction Chamber）：用于放置材料衬底（Substrate）以及执行反应的区域。反应室通常是一个密封的金属腔体，具有高温抗腐蚀性能。　　2.加热系统（Heating System）：用于提供反应室内的高温环境。加热系统通常采用电阻加热或感应加热的方式，通过加热元件（比如加热线圈）提供热源。　　3.气体供应系统（Gas Supply System）：用于控制和提供反应室内所需的气体混合物。气体供应系统通常包括多个气体进口、流量控制器和混合装置等。　　4.排气系统（Exhaust System）：用于排除反应室内产生的废气和杂质。排气系统通常包括真空泵和废气处理装置等。　　5.控制系统（Control System）：用于对炉子的温度、气体流量等参数进行实时监控和调节。　　气相沉积炉工作原理：　　气相沉积炉的工作原理是利用热分解或化学反应将气体源中的原料分子在高温环境下转化为可沉积的材料薄膜。具体步骤如下：　　1.衬底放置：将待生长的衬底放置在反应室中的加热区域，通常通过夹持装置固定。　　2.加热预处理：加热系统提供热源，将反应室内的温度升至所需的生长温度。此过程通常在惰性气氛下进行，以排除氧气和其他杂质。　　3.气体供应和反应：气体供应系统控制并提供所需的气体混合物，其通过进入反应室与衬底表面发生化学反应或热分解，产生可沉积的物种。　　4.材料沉积：沉积物种在衬底表面吸附并形成一层薄膜。其形貌、结构和性质可通过控制温度、气体流量和沉积时间等参数来调节。　　5.冷却和取出：完成材料沉积后，可关闭气体供应和加热系统，让衬底缓慢冷却。待冷却至安全温度后，可以取出生长的薄膜。　　需要注意的是，具体的气相沉积炉工作原理会因不同类型的沉积方法（如化学气相沉积、物理气相沉积等）和所研究的材料而有所不同。上述仅为一般的工作原理示意，实际操作中需根据具体情况进行参数调节和设备操作。